SEMI E40-0200 STANDARD FOR PROCESSING MANAGEMENT(加工管理标准)-(三)完结
10 消息服务详情
10.1 本章定义实现加工管理概念所需的消息服务。这些消息已在第8.1节中初步介绍。
协议无关性:这些服务独立于所使用的消息协议,可映射至SECS-II(SEMI E5)或其他类似协议。10.1.1 消息服务定义内容包括:
消息用途:定义需使用的消息类型;
参数性质ÿ
